1。 多种晶圆材质取尺寸兼容:全从动晶圆划片机可以或许处置分歧材质(如硅、锗、化合物半导体等)和分歧尺寸的晶圆,满脚多样化的出产需求。
2。 不变的划片质量:通过优化划片工艺和参数设置,全从动晶圆划片机可以或许连结不变的划片质量,削减因划片不均或误差导致的废品率。定位、检测等流程,削减人工干涉,提超出跨越产线的全体效率。
1。 低毁伤划片:采用先辈的划片手艺和刀具,可以或许削减对晶圆概况的毁伤,提高产物的成品率和靠得住性。
1。 微米级以至纳米级划片精度:全从动晶圆划片机采用先辈的细密机械系统和节制系统,可以或许确保划片过程中的高精度。
2。 环保节能:全从动晶圆划片机正在设想时考虑到了环保和节能的要求,采用低能耗、低排放的设想,削减对的影响。
2。 可调整划片参数:按照具体的出产要求,能够矫捷调整划片速度、划片深度、划片角度等参数,以顺应分歧产物的出产需求。